WARTER

ケミカル

オリジナル薬液の
開発・販売で、
より高品質・高効率な
製品製造に貢献。

製造現場におけるエネルギー効率や品質の向上は企業競争力に直結する重要な要素。当社は生産性を高めながら、排出物削減など環境負荷低減もかなえる製造用薬液を独自開発。またBCP（複数購買）対応や、処理性能向上などお客様のご要望に応じたオーダーメイドの薬液レシピ開発も行い、お客様企業のさらなる発展をサポートしています。

製品・システム・サービス

  • 高効率利用

銅エッチング液

液晶ディスプレイの
高品質化と
製造コスト抑制を両立。

液晶ディスプレイ(LCD)製造プロセスで使用される銅エッチング液を自社開発しています。銅高濃度域まで安定した加工形状を維持でき、コストメリットを追求した濃縮タイプのご提案も可能。Cu単膜、積層膜（Cu/Ti, Cu/Mo等）どちらのご要望にもお応えできる対応力の高さも特長です。

ご提供メリット

  • 薬液のロングライフ化により薬液使用量を減らし、製造コスト低減に貢献
  • オーダーメイド開発により、顧客要望に応じた加工形状（テーパー角、CDロスetc.）を実現
  • 成分濃度の管理幅が広範なため、現場での濃度管理や監視工数を低減

薬液開発や品質管理などは自社ラボで実施しているため、お客様のご要望に応じた、タイムリーかつスピーディな開発推進が可能です。

〈左〉析出なし　〈右〉析出あり
エッチングによる反応析出物の生成を抑制し、メンテナンスの手間や薬液使用コストを削減。

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  • 高効率利用
  • 排出物のクリーン化

レジスト剥離液

お客様の製造工程に合わせて
オリジナルの剥離液を開発・提供。

水系剥離液ながらも、溶剤系剥離液同等の剥離力を持つ製品を開発。蒸留再生でき、溶剤の85％以上が回収可能です。製造プロセスに応じて、剥離性能や防食性など、お客様ごとに最適にカスタマイズした薬液をご提案します。

ご提供メリット

  • 水系剥離液のため非危険物ながら、難剥離基板（ハードベイクetc.）対応も可能
  • 顧客構内（オンサイト）での剥離液蒸留によるコスト合理化が可能
  • 環境負荷の低いレシピのため、排水負荷低減が可能

ハードベーク対応可能な
剥離液をはじめ、
幅広いラインナップ

型番 応用プロセス 法規制 蒸留再生
PT-101 ポジ型レジスト　LCD用TFTプロセス（LTPS）　AI配線プロセス専用 PRTR該当 ○
PT-102 ポジ型レジスト　LCD用TFTプロセス（a-Si）　Cu配線プロセス対応 非該当 ○
AT-600
シリーズ		 ポストベーク170℃ポジ型 gi線レジスト用
難剥離基板（ハードベイクetc.）対応可能な剥離液
LCD用TFTプロセス　Cu/AI配線プロセス兼用		 非該当 ○

上記標準品以外にも、お客様のご要望に合わせたオーダーメイド品の開発・ご提案も可能です。

オンサイトの剥離液蒸留再生設備。
薬液開発に加え、再生設備の設計から維持管理まで、当社が一貫して担当できます。

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  • 資源の高度活用

PLOPXプロップス™ プロセス

ガラスに高密着な
銅めっきを、
省資源・低エネルギーで。

当社は、難めっき材料であるガラスに対して良好な密着が得られる銅めっきプロセスを開発。自社開発の薬液を用いて、LPD法（液相析出法）により中間層を成膜することで、ガラスを粗化することなく銅めっきすることが可能です（特許取得済み）。また当社はWETプロセスでのスルーホール形成技術も保有しているため、スルーホール、中間層、めっきまでシームレスなWETプロセス技術をご提供できます。

ご提供メリット

  • ガラス基材への高密着な銅めっき（4N/cm以上）が可能に
  • 湿式成膜法のため大型基板の同時・大量生産によるコスト削減に貢献
  • ビアの形状設計からめっきまで、一貫した製品をご提案
  • 異形形状（スルーホール含む）への良好なめっき付き回りを実現

主な使用用途

  • 半導体パッケージ用回路基板、ガラスインターポーザ
  • 3DガラスIPD
  • MEMS、センサーデバイス

スルーホールを含め、良好な付き回りを実現できます。

形状観察などは自社で行っております。

LPD法を使用した中間層成膜により、高密着な銅めっき層を生成。

PLOPX™ プロセスの商品情報はこちら

薬液の
受託製造事業について

お客様ごとのニーズに合わせて
高品質薬液を
迅速に安定供給

当社は薬液の製造工場を持たず、開発・販売のみを行う“ファブレス”経営を採用しています。自社開発品の販売で培った原料調達力や、調合委託先選定、製造方法の指導、製造物の品質管理などのノウハウを活かし、すばやく、より安価かつ安定した品質の薬液をご提供します。

ご提供メリット

  • ファブレス経営で培ったOEMノウハウにより、ご要望薬液の迅速な生産を実現
  • 自社購買力を活かし、高品質な原料を安価且つ安定的に調達可能。